台北大學-新創產學發展中心

劉俊宏

助理教授
電機資訊學院電機工程學系

技術名稱en	利用電子散射判斷材料能量反應的方法
研究專長en	奈米積體電路光學及電子束微影技術與製程 VLSI電子設計自動化
技術摘要en	本技術是以電子束微影角度分析電子散射之方法，取得平均原子間距（d）再加入散射截面積（σ）計算，得出該材料內平均原子空間結構可產生之前向或背向散射比例（ω），並避開中子之計算，得以精準分析該材料內電子散射情形。其中，d值正比於電子相互作用體積，而材料的ω也直接影響電子相互作用體積大小由數值模擬結果顯示ω與電子相互作用體積成反比，因此同時檢視d與ω得以直接正確地判斷吸收層內電子相互作用體積大小。運用於半導體晶片製造產業，於台灣如台積電、聯電、世界先進、力積電等積體電路製造廠商。
運作技術成熟度en	TRL1：基礎原理發現
專利名稱en	利用電子散射判斷材料能量反應的方法
申請國家en	中華民國
專利類型en	發明
專利證書號en	I812427
專利期間en	自2022/8/24起至2026/08/10止
專利說明en	一種利用電子散射判斷材料能量反應的方法，包括算出該材料之平均原子間距( d)，其計算公式為： ( n)為該材料之組成原子數，( ρ)為該材料的密度，( N0)為亞佛加厥常數，( i)為該材料的原子排序，( F i)為原子( i)的原子分數，( A i)為原子( i)的原子量，該材料之平均原子間距( d)與電子相互作用體積成反比關係，藉此可以分析該材料的能量反應。

Back